多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅，为了提高原料利用率和环境保护，在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。该工艺将工业硅粉与HCI反应，加工成SiHCI3，再让SiHCI3在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅。还原炉排出的尾气H2、SiHCI3、 SiCl4、SiH2Cl2 和HCI经过分离后再循环利用。硅烷法是将硅烷通过以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中，使硅烷裂解并在晶种上沉积，从而得到颗粒状多晶硅。改良西门子法和硅烷法主要生产电子级晶体硅，也可以生产太阳能级多晶硅。
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